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气体供应
电子特气
高纯氮气-N2,纯度>99.999%,用作在线仪表标准气、校正气、用于半导体器件制备工艺中外延、扩散、化学气相淀积等。
熔点:-210℃ 沸点:-195.8℃ 临界温度:-147.05℃
水溶性:难溶于水 密度:1.25g/L(标况)
外观:无色无味气体
危险性:空气中氮气含量过高,使吸入气氧分压下降,引起缺氧窒息。
高纯丙烷-C3H8,>99.999%,用作标准气、校正气、在线仪表标准气;用于半导体器件制备工艺中等离子干刻工序;另外,用于燃料、冷冻剂、制备乙烯与丙烯的原料。
熔点:-187.6℃ 沸点:-42.09℃
溶解性:微溶于水,溶于乙醇、乙醚。
临界温度:96.8℃ 引燃温度:450℃
密度:气体1.83kg/m3 外观:无色气体 毒性:微毒
危险性:易燃气体,与空气混合能形成爆炸性混合物,遇热源和明火有燃烧爆炸的危险。
高纯氧-O2,>99.995%,用作标准气、医疗气、半导体工艺、用于光导纤维的制备。
熔点:-218.4℃ 沸点:-183℃ 水溶性:难溶于水
临界温度:-118.95℃
外观:氧气无色无味气体,液氧为天蓝色液体。
危险性:助燃性
高纯氢气-H2,>99.999%,用作标准气、校正气、半导体器件制备工艺等;在化学、冶金等工业中也有用。
熔点:-259.2℃ 沸点:-252.77℃
临界温度:-234.8℃
外观:无色无味气体
溶解性:难溶于水
危险性:易燃易爆
氯甲烷-CH3F,>99.9%,以混合物用作非燃烧性的烟雾喷射剂。
熔点:-97.7℃ 沸点:-23.7℃ 溶解性:
微溶于水,溶于乙醇、苯、四氯化碳,与氯仿、乙醚和冰醋酸混溶。
外观:无色气体,可压缩成具有醚臭和甜味的无色液体。
危险性:有麻醉作用,易燃。
氧化亚氮-N2O,(即笑气),>99.999%,用作标准气、医疗气;用于半导体器件制备工艺中化学气相淀积、医月麻醉剂、烟雾喷射剂、真空和带压检漏;红外光谱分析仪等也用。
熔点:-90.8℃ 沸点:-88.49℃
外观:无色有甜味气体
溶解性:可溶于水,乙醇(酒精),浓硫酸,易溶于醚和脂肪油中
危险性:不燃气体,在一定条件下能支持燃烧,但在室温下稳定,有轻微麻醉作用。
氪气-Kr,>99.995%,用作标准气、特种混合气、灯泡与电子工业用气。
熔点:-156.6℃ 沸点:-153.3℃
外观:无色、无嗅、无味。
水溶性:20℃时每升水可溶解23毫升。
危险性:惰性气体,无毒、不燃也不助燃。
高纯硫化氢-H2S,>99.999%,用作标准气、校正气;用于半导体器件制备工艺中;化学工业中用于制备硫化物,如硫化钠,硫化有机物;用作溶剂;实验室定量分析用。
熔点:-85.5℃ 沸点:-60.4℃
外观:常温下无色恶臭味气体
危险性:急性剧毒、易燃易爆;对人体眼、呼吸系统和中枢神经系统有严重影响。
高纯二氧化碳-CO2,>99.999%,用作标准气、校正气;半导体器件制备工艺中氧化,还用于灭火剂、烟雾喷射剂、食品贮存保护气等。
熔点:-78.45℃ 沸点:-56.55℃ 溶解性:能溶于水
外观:无色无味气体
危险性:无毒,不燃不助燃
高纯一氧化碳-CO,>99.995%,用作标准气、校正气;与氢和其它气体混合作燃料气;用于从含有铁、钻和铜的矿砂中回收镍;也可用于制备酸类、醚类和醇类化学品。
熔点:-205.1℃ 沸点:-191.4℃
外观:无色无味无刺激的气体
溶解性:及难溶于水
危险性:剧毒;易燃易爆气体
氙气-Xe,>99.995%,用作标准气、特种混合气,用于电光源、电子工业等
熔点:-112℃ 沸点:-107.1℃
外观:无色无味气体
溶解性:可溶于水
危险性:惰性气体,无毒不可燃气体
高纯丙烯-C3H8,>99.999%,用作标准气、校正气;在化学工业上用作制备异丙醇、氧化丙烯、氧基醇类、四氯化碳、聚丙烯等。
熔点:-185.2℃ 沸点:-47.4℃
外观:无色无臭有甜味的气体
溶解性:不溶于水
危险性:易燃,与空气混合形成爆炸性混合物
高纯甲烷-CH4,99.999%,用作标准气、校正气、在线仪表标准气、作燃料等。
熔点:-182.5℃ 沸点:-161.5℃
外观:无色无味气体
溶解性:及难溶于水
危险性:易燃,具有窒息性
高纯乙烷-C2H6,>99.995%,用作标准气、校正气;用于半导体器件制备工艺中等离子干刻工序;还用于冶金工业的热处理,化学工业中制备乙醇、乙醛等。
熔点:-183.3℃ 沸点:-88.6℃
外观:无色无臭气体
溶解性:不溶于水,溶于乙醇等
危险性:易燃,有窒息性
氦气-He,>99.999%,用作标准气、零点气、平衡气、校正气、医疗气;于半导体器件制备工艺中晶体生长、等离子干刻、载流等工序;另外,特种混合气与工业混合气也常用。
熔点 1.0K(0.26MPa) 沸点 4.3K(0.1MPa) 临界温度:5.19K
水溶性:难溶于水 密度:0.1786g/L(0°C、0.1MPa) 外观:无色
危险性描述:不可燃气体。
高纯一氧化氮-NO,>99.999%,用作标准气、校正气;用于半导体器件制备工艺中化学气相淀积主序;制备监控大气污染的标准混合气。
熔点:-163.6℃ 沸点:-151℃
外观:无色气体
溶解性:微溶于水
危险性和安全性:有毒气体
氩气-Ar,>99.999,用作标准气、零点气、平衡气;用于半导体器件制备工艺中晶体生长、热氧化、外延、扩散、氮化、喷射、等离子干刻、载流、退火、搭接、烧结等工序;特种混合气与工业混合气也使用氢。
熔点 -189.2℃ 沸点 -185.7℃
溶解性:微溶于水, 相对密度(水=1)1.40(-186℃);相对密度(空气=1)1.38
安全性描述:无色、无嗅、非易燃。 危险性描述:非易燃。
氖气-Ne,>99.999%,用作标准气、特种混合气;用于充发光灯泡、电子管、讯号灯、等离子体研究、荧光灯中启动器、火花室、盖革一弥勒管、激光器;用作低温冷却剂。
熔点 -248.6 ℃ 沸点 -246.06 ℃ 临界温度 -228.75 ℃
水溶性:难溶于水 密度:0.4839g/cm3(标况)
外观:无色无味气体
安全性描述:无色、无嗅、非易燃。 危险性描述:非易燃。
高纯乙烷-C2H6,>99.995%,用作标准气、校正气;用于半导体器件制备工艺中等离子干刻工序;还用于冶金工业的热处理,化学工业中制备乙醇、乙醛等。
熔点:-183.3℃ 沸点:-88.6℃
外观:无色无臭气体
溶解性:不溶于水,溶于乙醇等

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