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    减少 80~85% 的全新 Slurry 使用量 - 显著的减少 Slurry 原料消耗 - 显著的减少用于 Slurry 稀释的超纯水消耗 回收 80~85% 的超纯水 - 回收的超纯水可用于研磨设备(如:冲洗) - 回收的超纯水经由简易的处理可用于其他重要性较低的制程,如:冲洗或冷却水塔 额外节约 - 减少废气化学后段处理 - 减少固体废弃物的处理费用 较短的投资回收率 - 普遍性小于16个月,根据现有厂房而定 - 根据 Slurry 废水容量制作合适的 Slurry 回收系统

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